Der Ort Ebersbach wurde 1285 erstmals urkundlich als "Ebirsbach" erwähnt. Vermutlich schon seit dem frühen 13. Jahrhundert existierte dort mit dem Wasserschloss bereits ein Herrensitz. Im späten 14. Jahrhundert gehörte Ebersbach zum kurzzeitig existierenden Herzogtum Görlitz. Seit Beginn des 15. Jahrhunderts war das Schloss Stammsitz der Familie von Bischofswerder, die es an 1584 Hiob d. Ä. von Salza auf Groß Krauscha veräußern mussten. 1609 erwarb er auch die "Siebenhufen" zu Kunnersdorf. 1671 verkaufte Christoph Friedrich von Salza, der auf der Flur seines Rittergutes Spremberg, ab 1670 das Städtchen Neusalza erbauen ließ, das gesamte Gut Ebersbach an Hiob von Uechtritz. Die Familie von Salza behielt auf dem Gut jedoch eine Hypothek, von der regelmäßig Zinsen für deren Majorat anfielen. Im Jahr 1717 erwarb Friedrich Ludwig von Hundt und Alten-Grottkau das Gut. Am 29. November 1717 wurde es aus Lehn in Erbe und Allod verwandelt. Damit konnten die folgenden Besitzer unabhängig vom Lehnsherrn uneingeschränkt über den Besitz verfügen. Die Witwe Anna Martha von Hundt und Alten-Grottkau verw. gewesene von Lossa, geb. Keßler von Sprengseysen heiratete in dritter Ehe Gottlob Innocentius von Einsiedel. Ihr Sohn aus erster Ehe Johann Christian von Lossa übernahm nach deren Tod 1732 das Gut Ebersbach mit Siebenhufen. Nach seinem Tod erbten es 1754 seine Enkel, die Geschwister Wilhelmine Sophie Christiane und Carl Victor August von Broizem. Im Besitz der Familie von Broizem blieb das Gut bis 1843. In diesem Jahr kaufte Baron Gustav Adolph von Steinäcker auf Kunnersdorf Ebersbach für 125.500 Taler. Er löste die immer noch bestehende von Salza'sche Hypothek ab. Unter seiner Herrschaft wurde dem Schloss mit umfangreichen Abbruch- und Bauarbeiten sein heutiges Aussehen verliehen.
Nach Inkrafttreten der Verordnung über die Aufhebung der Privatgerichtsbarkeit und des eximierten Gerichtsstandes sowie über die anderweitige Organisation der Gerichte vom 02.01.1849 in Preußen wurde die auf dem Gut haftende Patrimonialgerichtsbarkeit an den Staat übertragen. Das Kreisgericht Görlitz übernahm nunmehr diese Aufgabe.
In der zweiten Hälfte des 19. Jahrhunderts wechselten die Gutsbesitzer sehr oft. 1910 kaufte Kurt Brühl das Gut, dessen Erben es 1921 übernahmen. Der Hof Siebenhufen war seit 1924 im Besitz von Annemarie Freiin von Gregory. Mit Ernst Brühl, der 1945 im Zuge der Bodenreform enteignet und deportiert wurde, endete der Privatbesitz an Gut Ebersbach.
Heute befindet sich das Schloss Ebersbach im Besitz der Gemeinde Schöpstal, die es u. a. als Sitz der Gemeindeverwaltung nutzt.

Gutswirtschaftsrechnungen.- Patrimonialgericht.- Familienarchiv von Salza und Lichtenau.- Familienarchiv von Einsiedel.